ICP分析法
ＡｒやＨｅに4〜50MHzの高周波（2〜5KW）をかけ、プラズマガスとして
ネブライザ
から導入された試料粒子を高温(6000〜10000K)で励起化させる。低エネルギー状態に遷移する際の発光を分光することで定性、定量分析を行う。